Laserové fotochemie disilanů pro chemickou deposici Si/C/H fází z polyhydridosilanů z plynné a kapalné fáze

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

KONTAKT

Veřejná soutěž

—

Hlavní účastníci

Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

—

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

IR and UV laser induced photochemistry of disilanes for chemical vapour deposition of Si/C/H phases and chemical liquid deposition of polyhydridosilanes

Anotace anglicky

The project addresses synthesis of a series of disilanes and photochemistry of these compounds in the gas and liquid phase. The photochemistry will be induced by radiation of IR and UV lasers and it is expected to yield novel Si/C/H phases and yet unreported polyhydridosilanes. These products are promising for their application in microelectronics.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

CH - Jaderná a kvantová chemie, fotochemie

CEP - vedlejší obor

CC - Organická chemie

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10401 - Organic chemistry<br>10402 - Inorganic and nuclear chemistry

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Závěrečná zpráva

Zahájení řešení

1. 1. 1998

Ukončení řešení

1. 1. 1999

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2000/MSM/MSM0ME/U/4:1

Datum dodání záznamu

—

Celkové uznané náklady

270 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

200 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč