Určování profilů indexu lomu tenkých vrstev v tenkovrstvých senzorech

Název projektu anglicky
Determination of refractive index profiles on thin film sensor active layers
Anotace anglicky
By complex calculations based on variable angle spectroscopic ellipsometry measurements, the refractive index profiles of active layers in thin film sensors such as selfpolarized PZT films in IR sensors for presence detection, hazard gas detection and thermal imaging and polymer films in bimorphic piezoresistive sensors for relative humidity, carbon dioxide or nitride oxide concentration measurements will be evaluated. The results will be correlated with the active layer physical properties, for instance, the polarization profile of PZT thin films measured by the laser intensity modulation method. These investigations serve as an input for sensors design rule development.

Kategorie VaV
—
CEP - hlavní obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - vedlejší obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
CEP - další vedlejší obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Pomocí numerických kodů vyřešena elipsometrická charakterizace systémů vrstev PZT(PbZr1-xTixO3) a uibtivě unokatbivabžcg abutitriobžcg oikynerbácg vrstev určených pro tenkovrsvé senzorové aplikace.

Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP/2004/MSM/MSM4ME/U/N/4:2
Datum dodání záznamu
3. 6. 2008

Cíle projektu