Vývoj technologie a software pro nanášení vrstev tvrdého uhlíku v plazmových reaktorech velkých rozměrů

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

KONTAKT

Veřejná soutěž

KONTAKT 1 (SMSM200132001)

Hlavní účastníci

Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Development of Technology and Software for Diamond-Like Carbon Deposition in Large Scale Plasma Reactors

Anotace anglicky

The main objective of the project is an experimental study of plasma parameters of discharges in a mixture of carbon-containing gases (e.g. Ar+CH4) and their influence on the deposition of thin films in plasma-chemical reactors. The studied discharges will include (i) microwave electron cyclotron resonance discharge and (ii) round planar magnetron. Specifically, the composition and energy of the ion flux onto a substrate will be determined using energy-resolved mass spectrometry. The study will be carried out for varying discharge parameters, i.e., composition and total pressure of the working gas mixture, discharge power, d.c. and/or r.f.-generated substrate bias.

Kategorie VaV

—

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

CEP - další vedlejší obor

JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>20506 - Coating and films<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Studovány vlastnosti plazmatu v mikrovlnné ECR výboji v systému s homotovým spektrometrem, ve ktterém byl simulovány podmínky při nanášení vsrstev.Složení neutrál.plynu a koncentace radikálu měřena v mikrovlnném ECR výboji ve směsi Ar/Ch4

Zahájení řešení

1. 1. 2001

Ukončení řešení

1. 1. 2003

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP/2004/MSM/MSM4ME/U/N/4:2

Datum dodání záznamu

3. 6. 2008

Celkové uznané náklady

2 709 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

1 070 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

1 639 tis. Kč