Optimalizace laserových systémů depozice tenkých vrstev

Název projektu anglicky
Optimalization of laser thin film depositin systems
Anotace anglicky
The goal of the project is the comparison of deposition systems of both partners, joint experiments with the goal of plasma studies, and the deposition and characterization of selected layers. Farther, the study "of physical processes and deposition parameters of both unique systems, and theirs influence on the growth and quality of layers. The lasers in both laboratories are different (KrF excimer x Nd : YAG). Also different are the "optical systems, mechanical configuration of deposition chambers andthe on intermetalics as FeAl and Ni3Al.

Kategorie VaV
—
CEP - hlavní obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - vedlejší obor
JK - Koroze a povrchové úpravy materiálu
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20506 - Coating and films

Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byly deponovány a charakterizovány intermetalika, kovové vrstvy a vrstvy velké CNX.

Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP/2002/MSM/MSM2ME/U/N/4:4
Datum dodání záznamu
23. 3. 2004

Cíle projektu