Nové zdroje plazmatu pro vytváření tenkých vrstev
Cíle projektu
Předmětem navrženého projektu je výzkum nových systémů pro přípravu tenkých vrstev v plazmatu s cílem vytvořit nové materiály unikátních vlastností, objasnit složité procesy při jejich přípravě a zvýšit rychlost jejich vytváření.
Klíčová slova
new resources of plasma for creation of thiny layersimprovement of screations speedrevelation of processes,which are happening during layers preparation
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
KONTAKT
Veřejná soutěž
KONTAKT 3 (SMSM200300003)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
25 735/2003-32
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
New resources of plasma for creation of thiny layers.
Anotace anglicky
Goal of project is to find new resources of plasma for creation of thiny layers.Spetial attention will be paid on improvement of screations speed and on revelation of processes,which are happening during layers preparation.
Vědní obory
Kategorie VaV
NV - Neprůmyslový výzkum (aplikovaný výzkum s výjimkou průmyslového)
CEP - hlavní obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
CEP - vedlejší obor
—
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory
(dle převodníku)10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byly získány nové výsledky v obl. vysokovýkonového pulzního naprašování vrstev kovů (Cu a Ti) a pulzní reaktivní magnetronové depozice fotokatalytických vrstev Ti02 a vrstev Al-Si-N s vysokou teplotní stabilitou (viz 12 čl. v mezinárodních časopisech).
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 10. 2003
Ukončení řešení
31. 12. 2007
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
26. 3. 2007
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP08-MSM-ME-U/02:2
Datum dodání záznamu
27. 10. 2008
Finance
Celkové uznané náklady
1 326 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
1 146 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
180 tis. Kč
Základní informace
Uznané náklady
1 326 tis. Kč
Statní podpora
1 146 tis. Kč
86%
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
CEP
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
Doba řešení
01. 10. 2003 - 31. 12. 2007