Metrologie pro kontinuální monitorování laserových strukturovacích systémů (projekt mezinárodní spolupráce evropského programu MNT-ERA-NET)

Název projektu anglicky
Inline Process Metrology for Laser Structuring Systems
Anotace anglicky
Laser surface structuring system with inline surface scanning system. Targeted innovation: 1. Design of a modular inline-metrology system based on low-coherence interferometry for high-precision measurement of macro- and microstructure. 2. Advancement oflow-coherence interferometry to achieve a large measurement range, high resolution and long working distance. 3. Utilization of focusing telecentric f-theta optics and scanning unit by the measurement beam. 4.In-process measurement of laser ablation andprocess control for optimization of process parameters. 5. Pre-process work piece alignment and active thermal expansion compensation. The central objective of this project is the development of an inline measurement setup based on low coherence interferometry and the integration into a laser beam structuring system. Further the prototype will be integrated in a laser structuring system to scan the macro and microstructure during the structuring process. The acquired measurement data will be an

Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
CEP - hlavní obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - vedlejší obor
BH - Optika, masery a lasery
CEP - další vedlejší obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Výstupem projektu Metrologie pro kontinuální monitorování laserových strukturovacích systémů (scan4surf) jsou prototyp a optimalizované funkční vzorky SLED i ASE výkonového širokospektrálního zdroje záření, splňující parametry dle zadání projektu. Tento?

Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP13-MSM-ME-U/01:1
Datum dodání záznamu
28. 6. 2013

Cíle projektu