Studium vlivu typu výboje na vlastnosti deponovaných vrstev

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

COST

Veřejná soutěž

COST 1 (SMSM200132004)

Hlavní účastníci

Technická univerzita v Liberci / Fakulta mechatroniky, informatiky a mezioborových studií

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

—

Název projektu anglicky

Investigation of the influence of the discharge excitation type on the properties of the deposited films

Anotace anglicky

Various excitation methods such as radiofrequency, microvawe and various pulsed generations are frquently used in plasma processing. The method of plasma excitation influences the internal plasma parameters. which determine the properties of the deposited film. The aim of the proposed project is the investigation of plasma parameters of various deposition systems and to corelate these parameters with properties of deposited films. Radiofrequency, microvawe and pulsed plasmas together with low ang high pressure plasma jet will be predominately investigated. The internal plasma parameters will be measured using probe technique, ion flux monitor and optical emission spectroscopy. FTIR, ESCA, SEM and FTM will be mainly used for thin-film analyse.

Kategorie VaV

NV - Neprůmyslový výzkum (aplikovaný výzkum s výjimkou průmyslového)

CEP - hlavní obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

JJ - Ostatní materiály

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Bude dopněno po dodání dat řešitelem

Zahájení řešení

1. 1. 2000

Ukončení řešení

1. 1. 2005

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

—

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP06-MSM-OC-U/04:2

Datum dodání záznamu

28. 5. 2008

Celkové uznané náklady

6 347 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 057 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

4 340 tis. Kč