Kontrast a detekce v rastrovací elektronové mikroskopii (Contrast and detection in scanning electron microscopy)
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
EUREKA - evropská spolupráce v oblasti aplikovaného a průmyslového výzkumu a vývoje cílená na podporu nadnárodní kooperace mezi průmyslovými podniky, výzkumnými ústavy a vysokými školami.
Veřejná soutěž
EUREKA 6 (SMSM2008OE3)
Hlavní účastníci
—
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
1729/2010-32
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Contrast and detection in scanning electron microscopy
Anotace anglicky
The project aims to increase our knowledge of the complex physical interaction mechanisms between electrons in various semiconductor materials. This should lead to: - an understanding of contrast mechanisms in Scanning Electron Microscopy - the evaluation of new contrast mechanisms, - methods, techniques and electron detection devices able to generate and exploit contrast in SEM-nanographs to the full, both qualitatively and quantitatively. The final result of the project is that the capabilities of this technique, which is already applied in the study of semiconductor devices, can be significantly enhanced, fulfilling a strong existing need in the semiconductor industry.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
CEP - hlavní obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
CEP - vedlejší obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
CEP - další vedlejší obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Byl dopracován programový soubor pro simulaci tvorby obrazu v rastrovacím mikroskopu, byly vyvinuty tři nové typy detektorů a provedena aplikační studie rastrovací elektronové mikroskopie pod 50 eV.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2008
Ukončení řešení
31. 12. 2010
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
11. 2. 2010
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP11-MSM-OE-U/01:1
Datum dodání záznamu
30. 6. 2011
Finance
Celkové uznané náklady
18 270 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
7 322 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
10 948 tis. Kč