Experimentální vývoj MOCVD aparatur pro vysokoteplotní růst A(III)B(V) polovodičů a aplikovaný výzkum růstu metal-nitridových epitaxních tenkých vrstev

Poskytovatel

Technologická agentura ČR

Program

Program na podporu aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje EPSILON

Veřejná soutěž

EPSILON 2 (STA02017TH02)

Hlavní účastníci

SVCS Process Innovation s.r.o.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

2017TH02020926

Název projektu anglicky

Experimental development of MOCVD apparatus for high temperature growth of A(III)B(V) semiconductors and applied research of metal-nitrides epitaxial thin film growth

Anotace anglicky

- development of MOCVD epitaxial growth apparatus for A(III)B(V) layers on substrates up to 100 mm diameter - testing of MOCVD epitaxial growth of indium-nitride layers using the existing "low temperature" MOCVD apparatus in CEITEC-VUT substrates up to 100 mm diameter - high-temperature MOCVD reactor design optimization based on specific metal-nitride layers growth(GaN, AlN, InN) to - development of applications in the field of optical structures and sensors - development of MOCVD epitaxial growth apparatus for A(III)B(V) layers on substrates up to 250 mm diameter - optimization of the MOCVD reactor design based on A(III)B(V) epitaxial layers growth with the substrates diameter up to 250 mm

Kategorie VaV

VV - Experimentální vývoj

CEP - hlavní obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - vedlejší obor

BJ - Termodynamika

CEP - další vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20303 - Thermodynamics

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Oponentní komise po posouzení výsledků řešení projektu a oponentních posudků, se shodla, že cíle projektu i výsledky projektu byly dosaženy v souladu se Smlouvou o poskytnutí podpory, proto lze konstatovat, že projekt uspěl podle zadání.

Zahájení řešení

1. 1. 2017

Ukončení řešení

31. 12. 2019

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 2. 2019

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP20-TA0-TH-U/10:1

Datum dodání záznamu

12. 5. 2021

Celkové uznané náklady

35 026 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

20 987 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

15 375 tis. Kč