Procesní monitorování a poruchová analýza pro energeticky účinná zařízení a mikroelektronické výrobky
Veřejná podpora
Poskytovatel
Technologická agentura ČR
Program
Program na podporu aplikovaného výzkumu a experimentálního vývoje EPSILON
Veřejná soutěž
EPSILON 4 (STA02018TH040)
Hlavní účastníci
CRYTUR, spol. s r.o.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
TH04010525 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Process monitoring and failure analysis solutions for energy-efficient devices and products in microelectronics
Anotace anglicky
The project has two objectives. The first objective is to develop an X-ray camera for a nanoXCT system with a world-class spatial resolution of less than 100 nm and applications in microelectronics. Two functional samples, a scintillation detector, and X-ray camera will be prepared within 3 years. The X-ray camera will be protected as an industrial sample. The second objective encompasses development of correlative methods for tomographic analysis of structures. In particular, workflow integration and evaluation of materials and structures in microelectronics will be a key topic. The project will promote collaboration among partners with the IKTS in Germany. The result enables the creation of a tomographic system (nanoXCT) and methods for defect inspection in microelectronic components.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - vedlejší obor
21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
OECD FORD - další vedlejší obor
20501 - Materials engineering
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
BH - Optika, masery a lasery<br>JG - Hutnictví, kovové materiály<br>JJ - Ostatní materiály<br>JP - Průmyslové procesy a zpracování
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Jedná se o předběžné údaje, neproběhlo Závěrečné oponentní řízení.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2019
Ukončení řešení
31. 12. 2021
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
28. 2. 2021
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP22-TA0-TH-U
Datum dodání záznamu
30. 6. 2022
Finance
Celkové uznané náklady
20 988 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
12 390 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
8 598 tis. Kč