Vývoj laserového systému generujícího vysokoenergetické pulzy v ultrafialové oblasti pro použití v průmyslu laserového žíhání polovodičů
Veřejná podpora
Poskytovatel
Technologická agentura ČR
Program
Program podpory aplikovaného výzkumu, experimentálního vývoje a inovací DELTA 2
Veřejná soutěž
3.VS DELTA 2 (STA02022TM030)
Hlavní účastníci
Narran s.r.o.
Druh soutěže
VS - Veřejná soutěž
Číslo smlouvy
TM03000045 - Smlouva o poskytnutí podpory
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
Development of the High Energy Ultra-Violet Pulse Laser System for Semiconductor Laser Anneal Processing
Anotace anglicky
The aim of the project is to develop a working laser for semiconductors annealing delivering high-energy nanosecond pulses in the infrared (1064 nm), visible (532 nm) and ultraviolet (355 nm). The laser with a pulse energy of 10 J and a repetition rate of 10 Hz, developed by the Korean partners, will provide a beam for the conversion module generating beams of shorter wavelength with pulse energies up to 5 J for the 532 nm beam and up to 3 J for the 355 nm beam. The conversion module will be based on an optical scheme in which components with a high damage threshold will be selected. Mechanical design will determine the layout of the components, including their stable mounting, and module’s housing. The integration with the laser will include the control and safety system.
Vědní obory
Kategorie VaV
AP - Aplikovaný výzkum
OECD FORD - hlavní obor
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - vedlejší obor
20201 - Electrical and electronic engineering
OECD FORD - další vedlejší obor
20206 - Computer hardware and architecture
CEP - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
BH - Optika, masery a lasery<br>JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika<br>JB - Senzory, čidla, měření a regulace<br>JC - Počítačový hardware a software
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 3. 2022
Ukončení řešení
28. 2. 2025
Poslední stav řešení
B - Běžící víceletý projekt
Poslední uvolnění podpory
28. 2. 2023
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Systémové označení dodávky dat
CEP24-TA0-TM-R
Datum dodání záznamu
20. 2. 2024
Finance
Celkové uznané náklady
25 601 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
20 027 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
6 553 tis. Kč