Filtry
Plazmový surfatron s definovaným tokem iontů pro čištění citlivých povrchů s nízkou energetickou zátěží (EG20_321/0023906)
Předmětem projektu je výzkum a vývoj nové metody plazmového čištění, spočívající v inovativním způsobu aplikace, která bude spočívat v cíleném a přesně řízeném nastřikování pomocí surfatronu. Výstupem projektu bude prototyp systému plazmovéh...
Fluids and plasma physics (including surface physics)
- 2021 - 2024 •
- 37 369 tis. Kč •
- 0 tis. Kč •
- MPO
Řešení projektu: 1. 1. 2021 - 15. 2. 2024
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (0%)
Poskytovatel: Ministerstvo průmyslu a obchodu
Výzkum parametrů nízkoteplotního plazmatu v systémech planárního magnetronu, systémů s dutými katodami a mikrovlnného surfatronu (GP202/09/P159)
Cílem projektu bude využití několika diagnostických metod plazmatu (Langmuirova sonda, kalorimetrická sonda, energetický analyzátor iontu, laserova absorpční spektroskopie, optická emisní spektroskopie) za účelem srovnávacího výzkumu vlastností techn...
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
- 2009 - 2011 •
- 719 tis. Kč •
- 719 tis. Kč •
- GA ČR
Řešení projektu: 1. 1. 2009 - 31. 12. 2011
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (100%)
Poskytovatel: Grantová agentura České republiky
Výzkum a vývoj nového plazma aktivovaného ALD depozičního systému s unikátním zdrojem nízkoteplotního plazmatu na bázi mikrovlnného surfatronu a ECWR výboje. (TF03000025)
systému mikrovlnných surfatronů a tzv. ECWR výboje. Projekt se hlavně zaměří...
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
- 2016 - 2019 •
- 27 370 tis. Kč •
- 20 124 tis. Kč •
- TA ČR
Řešení projektu: 1. 11. 2016 - 31. 10. 2019
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (74%)
Poskytovatel: Technologická agentura ČR
Plazmatické depoziční systémy pro přípravu fotoaktivních tenkých vrstev hematitu (GP13-29241P)
Podstatou navrhovaného projektu je nízkoteplotní příprava krystalických fotoaktivních tenkých vrstev hematitu (alfa-Fe2O3) pomocí moderních plazmatických depozičních systémů (magnetronové naprašování, plazmatický systém s dutými katodami, surfatr...
JJ - Ostatní materiály
- 2013 - 2015 •
- 1 890 tis. Kč •
- 1 890 tis. Kč •
- GA ČR
Řešení projektu: 1. 2. 2013 - 31. 12. 2015
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (100%)
Poskytovatel: Grantová agentura České republiky
Pokročilý experimentální výzkum výbojových zdrojů plazmatu použitých pro přípravu nanostrukturovaných tenkých vrstev (GAP205/11/0386)
V projektu předpokládáme provést výzkum pulsně modulovaných zdrojů plazmatu (válcový a planární magnetron, plazmová tryska, mikrovlnný surfatronový výboj), jejich charakterizaci pro nanášení tenkých (především oxidových) vrstev a spolu s poč...
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
- 2011 - 2013 •
- 6 124 tis. Kč •
- 6 124 tis. Kč •
- GA ČR
Řešení projektu: 1. 1. 2011 - 31. 12. 2013
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (100%)
Poskytovatel: Grantová agentura České republiky
Minimal Fab design systému depozice po atomárních vrstvách (TM01000039)
Cílem navrhovaného projektu je vyvinout ALD depoziční systém, který bude vyhovovat konceptu Minimal Fab (podle standardu Minimal Fab Promotion Organization - MFPO). Pracovní aktivity řešeného projektu se zaměří na design, fluidně dynamické modelování...
Fluids and plasma physics (including surface physics)
- 2020 - 2022 •
- 45 180 tis. Kč •
- 22 529 tis. Kč •
- TA ČR
Řešení projektu: 1. 1. 2020 - 31. 12. 2022
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (50%)
Poskytovatel: Technologická agentura ČR
Výzkum tenkých vrstev na bázi FeS2 pro fotonické aplikace (LH12043)
naprašování systémem plazmatických trysek s dutými katodami a systém MW surfatronu...
BH - Optika, masery a lasery
- 2012 - 2015 •
- 2 400 tis. Kč •
- 2 400 tis. Kč •
- MŠMT
Řešení projektu: 1. 3. 2012 - 31. 3. 2015
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (100%)
Poskytovatel: Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Pokročilé polovodičové materiály pro fotoelektrochemický rozklad vody (GAP108/12/2104)
katodou, plazmový surfatron a atmosférický bariérový plasma jet. Zlepšení...
JJ - Ostatní materiály
- 2012 - 2015 •
- 9 957 tis. Kč •
- 9 957 tis. Kč •
- GA ČR
Řešení projektu: 1. 1. 2012 - 31. 12. 2015
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (100%)
Poskytovatel: Grantová agentura České republiky
Pokročilé metody přípravy a experimentální výzkum systémů dopovaných perovskitových tenkých vrstev s vysokou hustotou akumulace energie (GAP108/12/1941)
magnetron, pulzní DC a RF dutá katoda a pulzně modulovaný mikrovlnný surfatron...
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
- 2012 - 2014 •
- 6 386 tis. Kč •
- 6 386 tis. Kč •
- GA ČR
Řešení projektu: 1. 1. 2012 - 31. 12. 2014
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (100%)
Poskytovatel: Grantová agentura České republiky
Nízkoteplotní hybridní mikrovlnné plazmové zdroje s vysokým stupněm ionizace uspořádaných v matricové konfiguraci umožňujících depozice perspektivných materiálů a jejich (nano) kompozitů na 2D a 3D objekty (TA01011740)
Hlavním cílem předkládaného projektu je návrh, vývoj a realizace hybridního a plně modulárního mikrovlnného systému chemické depozice z plynné fáze za asistence plazmatu založeného na nízkoteplotním zdroji plazmatu, surfatronu, s vysokým stu...
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
- 2011 - 2014 •
- 29 820 tis. Kč •
- 23 631 tis. Kč •
- TA ČR
Řešení projektu: 1. 1. 2011 - 31. 12. 2014
Uznané náklady
Podpora ze státního rozpočtu (79%)
Poskytovatel: Technologická agentura ČR
- 1 - 10 z 10