High accuracy flatness metrology within the European Metrology Research Program

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F13%3A%230000723" target="_blank" >RIV/00177016:_____/13:#0000723 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2012.10.112" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2012.10.112</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.nima.2012.10.112" target="_blank" >10.1016/j.nima.2012.10.112</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

High accuracy flatness metrology within the European Metrology Research Program

Popis výsledku v původním jazyce

Recently, a project within the European Metrology Research Program (EMRP) started with the aim of improving the form metrology of optical surfaces. Within this project, in a work package on high accuracy flatness metrology, the National Metrology Institutes of the Czech Republic (CMI) and Germany (PTB) are involved. In the following, this EMRP project, the capabilities of CMI and PTB and the aims of the project will be presented. The new developments in flatness metrology cover the reduction of uncertainty, the enhancement of lateral resolution of deflectometric methods and the test of capacitive sensors for flatness metrology.

Název v anglickém jazyce

High accuracy flatness metrology within the European Metrology Research Program

Popis výsledku anglicky

Recently, a project within the European Metrology Research Program (EMRP) started with the aim of improving the form metrology of optical surfaces. Within this project, in a work package on high accuracy flatness metrology, the National Metrology Institutes of the Czech Republic (CMI) and Germany (PTB) are involved. In the following, this EMRP project, the capabilities of CMI and PTB and the aims of the project will be presented. The new developments in flatness metrology cover the reduction of uncertainty, the enhancement of lateral resolution of deflectometric methods and the test of capacitive sensors for flatness metrology.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

R - Projekt Ramcoveho programu EK

Rok uplatnění

2013

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Nuclear Instruments and Methods in Physics Research A

ISSN

0168-9002

e-ISSN

—

Svazek periodika

710

Číslo periodika v rámci svazku

2013

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

37-41

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—