Design and performance of a test rig for evaluation of nanopositioning stages

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00177016%3A_____%2F19%3AN0000114" target="_blank" >RIV/00177016:_____/19:N0000114 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216305:26620/19:PU134569

Výsledek na webu

<a href="https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aafd03" target="_blank" >https://iopscience.iop.org/article/10.1088/1361-6501/aafd03</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1088/1361-6501/aafd03" target="_blank" >10.1088/1361-6501/aafd03</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Design and performance of a test rig for evaluation of nanopositioning stages

Popis výsledku v původním jazyce

Nanopositioning stages are used in many areas of nanotechnology and advanced materials analysis, often being integrated into analytical devices such as scanning probe and optical microscopes and manufacturing devices (e.g. lithographic systems). We present a metrological instrument, together with software, designed for traceable evaluation of stage performance. The system capabilities and performance are illustrated by measurement of stages of different levels of accuracy, including a low cost custom built stage manufactured by 3D printing. The traceability of the system is described and main uncertainty sources are discussed. Guidelines are given for the specification of stage performance.

Název v anglickém jazyce

Design and performance of a test rig for evaluation of nanopositioning stages

Popis výsledku anglicky

Nanopositioning stages are used in many areas of nanotechnology and advanced materials analysis, often being integrated into analytical devices such as scanning probe and optical microscopes and manufacturing devices (e.g. lithographic systems). We present a metrological instrument, together with software, designed for traceable evaluation of stage performance. The system capabilities and performance are illustrated by measurement of stages of different levels of accuracy, including a low cost custom built stage manufactured by 3D printing. The traceability of the system is described and main uncertainty sources are discussed. Guidelines are given for the specification of stage performance.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

20201 - Electrical and electronic engineering

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2019

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Measurement Science and Technology

ISSN

09570233

e-ISSN

—

Svazek periodika

30

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000458209200002

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85062464303