Optimalizace podmínek anodického leptání krystalického křemíku pro přípravu luminiscentních křemíkových nanokrystalů pro chemosenzorové aplikace

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11310%2F22%3A10458003" target="_blank" >RIV/00216208:11310/22:10458003 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216208:11320/22:10458003

Výsledek na webu

<a href="https://www.bestservis.eu/realizovane-akce/41-mem/41/" target="_blank" >https://www.bestservis.eu/realizovane-akce/41-mem/41/</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Optimalizace podmínek anodického leptání krystalického křemíku pro přípravu luminiscentních křemíkových nanokrystalů pro chemosenzorové aplikace

Popis výsledku v původním jazyce

Je prezentováno anodické leptání krystalického křemíku v elektrolytu na bázi fluoridů a optimalizace podmínek leptání s cílem vyrobit porézní křemík pro aplikace v plynových chemosenzorech. Hlavním cílem studie bylo připravit mechanicky stabilní materiál obsahující luminiscenční křemíkové nanokrystaly. Hlavními optimalizačními parametry byly hustota anodického proudu, složení leptacího elektrolytu a vlastnosti křemíkových destiček (typ dopování, rezistivita, krystalografická orientace). Optimalizované výrobní parametry byly stanoveny na základě gravimetrie, lineární voltametrie křemíkových destiček v elektrolytech na bázi fluoridů a charakterizačních technik, jako je infračervená a fotoluminiscenční spektroskopie a skenovací elektronová mikroskopie.

Název v anglickém jazyce

Optimization of Anodic Etching of Crystalline Silicon for Fabrication of Luminescent Silicon Nanocrystals for Chemosensor Applications

Popis výsledku anglicky

Anodic etching of crystalline silicon in fluoride-based electrolyte and optimization of the etching conditions aimed at the fabrication of porous silicon for gas chemosensors applications are presented. The main goal of the study was to prepare mechanically stable material containing luminescent silicon nanocrystals. The main optimization parameters were anodic current density, etching electrolyte composition, and the silicon wafer properties (type of doping, resistivity, crystallographic orientation). The optimized fabrication parameters were determined from gravimetry, linear voltammetry of silicon wafer in the fluoride-based electrolytes, and characterization techniques like infrared and photoluminescence spectroscopy and scanning electron microscopy.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10406 - Analytical chemistry

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2022

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

41. Moderní Elektrochemické Metody: Sborník přednášek

ISBN

978-80-905221-9-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

120-124

Název nakladatele

Lenka Srsenová - BEST Servis, Ústí nad Labem

Místo vydání

Ústí nad Labem

Místo konání akce

Jetrichovice, Česká republika

Datum konání akce

22. 5. 2022

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—