Měrení parametrů plazmatu v radiofrekvenčním pochodňovém výboji použitém pro depozici kysličníkových tenkých vrstev

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F06%3A00002880" target="_blank" >RIV/00216208:11320/06:00002880 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Measurements of the Plasma Parameters in RF Torch Discharge Used for Deposition of Oxide Thin Films

Popis výsledku v původním jazyce

Measurements of the Plasma Parameters in RF Torch Discharge Used for Deposition of Oxide Thin Films

Název v anglickém jazyce

Measurements of the Plasma Parameters in RF Torch Discharge Used for Deposition of Oxide Thin Films

Popis výsledku anglicky

Measurements of the Plasma Parameters in RF Torch Discharge Used for Deposition of Oxide Thin Films

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

WDS´06 Proceedings of Contributed Papers:Part II-Physics of Plasmas and Ionized Media

ISBN

80-86732-85-1

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

108-113

Název nakladatele

Matfyzpress

Místo vydání

Prague

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

1. 1. 2006

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—