Magnetron Deposited TiO2 Thin Films - Crystallization and Temperature Dependence of Microstructure and Phase Composition

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/00216208:11320/08:00206839 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Magnetron Deposited TiO2 Thin Films - Crystallization and Temperature Dependence of Microstructure and Phase Composition

Popis výsledku v původním jazyce

Temperature dependence of microstructure and phase composition of two sets of nanocrystalline TiO2 thin Films magnetron deposited oil glass and silicon substrates have been Studied by X-ray scattering. X-ray powder diffraction patterns were measured in parallel beam optics and evaluated by the total pattern fitting. After annealing, the amorphous films are crystallized, the nanocrystalline films consisting of anatase and rutile are partially crystallized while pure nanocrystalline anatase films remain nearly unchanged. With increasing temperature above 400 degrees C significant increase of crystallite size and transformation of anatase into rutile after 700 degrees C can be observed.

Název v anglickém jazyce

Magnetron Deposited TiO2 Thin Films - Crystallization and Temperature Dependence of Microstructure and Phase Composition

Popis výsledku anglicky

Temperature dependence of microstructure and phase composition of two sets of nanocrystalline TiO2 thin Films magnetron deposited oil glass and silicon substrates have been Studied by X-ray scattering. X-ray powder diffraction patterns were measured in parallel beam optics and evaluated by the total pattern fitting. After annealing, the amorphous films are crystallized, the nanocrystalline films consisting of anatase and rutile are partially crystallized while pure nanocrystalline anatase films remain nearly unchanged. With increasing temperature above 400 degrees C significant increase of crystallite size and transformation of anatase into rutile after 700 degrees C can be observed.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

GA106/06/0327: Krystalizace amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Zeitschrift für Kristallographie

ISSN

0044-2968

e-ISSN

—

Svazek periodika

27

Číslo periodika v rámci svazku

27

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000264441800032

EID výsledku v databázi Scopus

—