Magnetron Deposited TiO2 Thin Films - Crystallization and Temperature Dependence of Microstructure and Phase Composition
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F08%3A00206839" target="_blank" >RIV/00216208:11320/08:00206839 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Magnetron Deposited TiO2 Thin Films - Crystallization and Temperature Dependence of Microstructure and Phase Composition
Popis výsledku v původním jazyce
Temperature dependence of microstructure and phase composition of two sets of nanocrystalline TiO2 thin Films magnetron deposited oil glass and silicon substrates have been Studied by X-ray scattering. X-ray powder diffraction patterns were measured in parallel beam optics and evaluated by the total pattern fitting. After annealing, the amorphous films are crystallized, the nanocrystalline films consisting of anatase and rutile are partially crystallized while pure nanocrystalline anatase films remain nearly unchanged. With increasing temperature above 400 degrees C significant increase of crystallite size and transformation of anatase into rutile after 700 degrees C can be observed.
Název v anglickém jazyce
Magnetron Deposited TiO2 Thin Films - Crystallization and Temperature Dependence of Microstructure and Phase Composition
Popis výsledku anglicky
Temperature dependence of microstructure and phase composition of two sets of nanocrystalline TiO2 thin Films magnetron deposited oil glass and silicon substrates have been Studied by X-ray scattering. X-ray powder diffraction patterns were measured in parallel beam optics and evaluated by the total pattern fitting. After annealing, the amorphous films are crystallized, the nanocrystalline films consisting of anatase and rutile are partially crystallized while pure nanocrystalline anatase films remain nearly unchanged. With increasing temperature above 400 degrees C significant increase of crystallite size and transformation of anatase into rutile after 700 degrees C can be observed.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA106%2F06%2F0327" target="_blank" >GA106/06/0327: Krystalizace amorfních a nanokrystalických tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Zeitschrift für Kristallographie
ISSN
0044-2968
e-ISSN
—
Svazek periodika
27
Číslo periodika v rámci svazku
27
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000264441800032
EID výsledku v databázi Scopus
—