Spatial Distribution of Plasma Parameters in DC-energized Hollow Cathode Plasma Jet: System Stability

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F09%3A00207251" target="_blank" >RIV/00216208:11320/09:00207251 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Spatial Distribution of Plasma Parameters in DC-energized Hollow Cathode Plasma Jet: System Stability

Popis výsledku v původním jazyce

DC energized hollow cathode plasma jet system was examined by moveable Langmuir probe. Spatial distribution of electron concentration, plasma and floating potentials and mean electron energy were obtained from measured probe characteristics. The radial dependence of plasma parameters was measured for distances from the system axis 0-120 mm. Temporal dependences of main plasma parameters for discharges in clean argon and argon-oxygen mixture were obtained from probe voltage current characteristics. The system with Ti nozzle permits deposition of pure Ti as well as its compounds with active working gas admixtures such as O2, N2, etc. TiOx thin films were deposited onto glass substrates and examined by AFM and elipsometry.

Název v anglickém jazyce

Spatial Distribution of Plasma Parameters in DC-energized Hollow Cathode Plasma Jet: System Stability

Popis výsledku anglicky

DC energized hollow cathode plasma jet system was examined by moveable Langmuir probe. Spatial distribution of electron concentration, plasma and floating potentials and mean electron energy were obtained from measured probe characteristics. The radial dependence of plasma parameters was measured for distances from the system axis 0-120 mm. Temporal dependences of main plasma parameters for discharges in clean argon and argon-oxygen mixture were obtained from probe voltage current characteristics. The system with Ti nozzle permits deposition of pure Ti as well as its compounds with active working gas admixtures such as O2, N2, etc. TiOx thin films were deposited onto glass substrates and examined by AFM and elipsometry.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

WDS´09 Proceedings of Contributed Papers: Part II - Physics of Plasmas and Ionized Media

ISBN

978-80-7378-102-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

—

Název nakladatele

Matfyzpress

Místo vydání

Prague

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

1. 1. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—