E-beam lithography processing of Au-nanowire contacts for development of gas sensors based on tungsten-oxide nanorods self-assembled on mica

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F12%3A10130661" target="_blank" >RIV/00216208:11320/12:10130661 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1504/IJNT.2012.046755" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1504/IJNT.2012.046755</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1504/IJNT.2012.046755" target="_blank" >10.1504/IJNT.2012.046755</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

E-beam lithography processing of Au-nanowire contacts for development of gas sensors based on tungsten-oxide nanorods self-assembled on mica

Popis výsledku v původním jazyce

This work describes the processing of Au nanowire arrays on insulating substrate developed to contact tungsten-oxide nanorods self-organised on the mica surface. The combination of electron beam lithography in scanning electron microscope and lift-off process is shown to be effective in fabricating nanocontact finger patterns with a line width of about 270 nm and 400 nm on bare and WO3 nanorod covered mica surfaces, respectively, separated by a few micrometre distance. It is shown that at right selection of the distance between Au nanowires, the applied procedure makes possible to contact WO3 nanorods of different length and density even if the nanostructures do not form an interconnected net. It opens the way for fabrication of single-wire nanosensorsgrown on insulating substrates.

Název v anglickém jazyce

E-beam lithography processing of Au-nanowire contacts for development of gas sensors based on tungsten-oxide nanorods self-assembled on mica

Popis výsledku anglicky

This work describes the processing of Au nanowire arrays on insulating substrate developed to contact tungsten-oxide nanorods self-organised on the mica surface. The combination of electron beam lithography in scanning electron microscope and lift-off process is shown to be effective in fabricating nanocontact finger patterns with a line width of about 270 nm and 400 nm on bare and WO3 nanorod covered mica surfaces, respectively, separated by a few micrometre distance. It is shown that at right selection of the distance between Au nanowires, the applied procedure makes possible to contact WO3 nanorods of different length and density even if the nanostructures do not form an interconnected net. It opens the way for fabrication of single-wire nanosensorsgrown on insulating substrates.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GD202%2F09%2FH041" target="_blank" >GD202/09/H041: Fyzika nanostruktur</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

International Journal of Nanotechnology

ISSN

1475-7435

e-ISSN

—

Svazek periodika

9

Číslo periodika v rámci svazku

8-9

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

825-835

Kód UT WoS článku

000303800500010

EID výsledku v databázi Scopus

—