Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Experimental study of EUV mirror radiation damage resistance under long-term free-electron laser exposures below the single-shot damage threshold

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F18%3A10370912" target="_blank" >RIV/00216208:11320/18:10370912 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/68378271:_____/18:00487414

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1107/S1600577517017362" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1107/S1600577517017362</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1107/S1600577517017362" target="_blank" >10.1107/S1600577517017362</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Experimental study of EUV mirror radiation damage resistance under long-term free-electron laser exposures below the single-shot damage threshold

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The durability of grazing-and normal-incidence optical coatings has been experimentally assessed under free-electron laser irradiation at various numbers of pulses up to 16 million shots and various fluence levels below 10% of the single-shot damage threshold. The experiment was performed at FLASH, the Free-electron LASer in Hamburg, using 13.5 nm extreme UV (EUV) radiation with 100 fs pulse duration. Polycrystalline ruthenium and amorphous carbon 50 nm thin films on silicon substrates were tested at total external reflection angles of 20 degrees and 10 degrees grazing incidence, respectively. Mo/Si periodical multilayer structures were tested in the Bragg reflection condition at 16 degrees off-normal angle of incidence. The exposed areas were analysed post-mortem using differential contrast visible light microscopy, EUV reflectivity mapping and scanning X-ray photoelectron spectroscopy. The analysis revealed that Ru and Mo/Si coatings exposed to the highest dose and fluence level show a few per cent drop in their EUV reflectivity, which is explained by EUV-induced oxidation of the surface.

  • Název v anglickém jazyce

    Experimental study of EUV mirror radiation damage resistance under long-term free-electron laser exposures below the single-shot damage threshold

  • Popis výsledku anglicky

    The durability of grazing-and normal-incidence optical coatings has been experimentally assessed under free-electron laser irradiation at various numbers of pulses up to 16 million shots and various fluence levels below 10% of the single-shot damage threshold. The experiment was performed at FLASH, the Free-electron LASer in Hamburg, using 13.5 nm extreme UV (EUV) radiation with 100 fs pulse duration. Polycrystalline ruthenium and amorphous carbon 50 nm thin films on silicon substrates were tested at total external reflection angles of 20 degrees and 10 degrees grazing incidence, respectively. Mo/Si periodical multilayer structures were tested in the Bragg reflection condition at 16 degrees off-normal angle of incidence. The exposed areas were analysed post-mortem using differential contrast visible light microscopy, EUV reflectivity mapping and scanning X-ray photoelectron spectroscopy. The analysis revealed that Ru and Mo/Si coatings exposed to the highest dose and fluence level show a few per cent drop in their EUV reflectivity, which is explained by EUV-induced oxidation of the surface.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science

  • CEP obor

  • OECD FORD obor

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2018

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Journal of Synchrotron Radiation [online]

  • ISSN

    1600-5775

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    2018

  • Číslo periodika v rámci svazku

    25

  • Stát vydavatele periodika

    JP - Japonsko

  • Počet stran výsledku

    8

  • Strana od-do

    77-84

  • Kód UT WoS článku

    000418593300013

  • EID výsledku v databázi Scopus

    2-s2.0-85038971075