Plasma Diagnostics of Hollow Cathode Plasma-jet for Deposition of Iron Oxide Thin Films

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F19%3A10406024" target="_blank" >RIV/00216208:11320/19:10406024 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf19/WDS19_09_f2_Tuharin.pdf" target="_blank" >https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf19/WDS19_09_f2_Tuharin.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Plasma Diagnostics of Hollow Cathode Plasma-jet for Deposition of Iron Oxide Thin Films
Popis výsledku v původním jazyce
The perspectives of iron oxide films and it sulfidation for dye-sensitized solar cell (DSSC) are reviewed. The iron oxide thin films were prepared by the hollow cathode plasma jet sputtering with the admixture of the oxygen in the argon working gas and with the iron nozzle as the sputtering target. The discharge is powered by the constant current source in the continuous mode and by the constant voltage source in the pulsed mode. Plasma composition was measured by the mass spectrometer. Moreover, SEM and Raman spectra of films are presented.
Název v anglickém jazyce
Plasma Diagnostics of Hollow Cathode Plasma-jet for Deposition of Iron Oxide Thin Films
Popis výsledku anglicky
The perspectives of iron oxide films and it sulfidation for dye-sensitized solar cell (DSSC) are reviewed. The iron oxide thin films were prepared by the hollow cathode plasma jet sputtering with the admixture of the oxygen in the argon working gas and with the iron nozzle as the sputtering target. The discharge is powered by the constant current source in the continuous mode and by the constant voltage source in the pulsed mode. Plasma composition was measured by the mass spectrometer. Moreover, SEM and Raman spectra of films are presented.

Projekt
<a href="/cs/project/GA19-00579S" target="_blank" >GA19-00579S: Pokročilá diagnostika reaktivního HiPIMS plazmatu pro depozici oxidových, nitridových a sulfidových vrstev</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)