Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F01%3A00004228" target="_blank" >RIV/00216224:14310/01:00004228 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings

Popis výsledku v původním jazyce

Structural characterization of a fully etched amorphous W/Si multilayer grating with a lateral periodicity of 800 nm is performed by x-ray reflectivity in the coplanar and non-coplanar modes using a scintillation detector and a two-dimensional gas-filleddetector, respectively. Three-dimensional reciprocal space constructions were used to explain the scattering features recorded in both geometries. Coplanar coherent grating truncation rods were fitted by a dynamical theory for rough gratings. Comparisonof the reflectivity from the reference planar multilayer completes the study.

Název v anglickém jazyce

Coplanar and non-coplanar x-ray reflectivity characterization of lateral W/Si multilayer gratings

Popis výsledku anglicky

Structural characterization of a fully etched amorphous W/Si multilayer grating with a lateral periodicity of 800 nm is performed by x-ray reflectivity in the coplanar and non-coplanar modes using a scintillation detector and a two-dimensional gas-filleddetector, respectively. Three-dimensional reciprocal space constructions were used to explain the scattering features recorded in both geometries. Coplanar coherent grating truncation rods were fitted by a dynamical theory for rough gratings. Comparisonof the reflectivity from the reference planar multilayer completes the study.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2001

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

J. Phys. D: Appl. Phys.

ISSN

0022-3727

e-ISSN

—

Svazek periodika

34

Číslo periodika v rámci svazku

10A

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

"A188"

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—