Reduction of tungsten precursors in inductive rf discharge plasma reactors

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F03%3A00009448" target="_blank" >RIV/00216224:14310/03:00009448 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Reduction of tungsten precursors in inductive rf discharge plasma reactors
Popis výsledku v původním jazyce
Ammonium paratungstate (APT) was reduced in inductively coupled h.f. plasma reactor(4 MHz,2 kW). As working gas was used hydrogen. If the mixture of hydrogen with hydrocarbon is used (methane, propan butane)it is possible to prepare also tungsten carbidein the ratio up to WC/W=80/20.
Název v anglickém jazyce
Reduction of tungsten precursors in inductive rf discharge plasma reactors
Popis výsledku anglicky
Ammonium paratungstate (APT) was reduced in inductively coupled h.f. plasma reactor(4 MHz,2 kW). As working gas was used hydrogen. If the mixture of hydrogen with hydrocarbon is used (methane, propan butane)it is possible to prepare also tungsten carbidein the ratio up to WC/W=80/20.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/OC%20527.20" target="_blank" >OC 527.20: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)