Rozdelovaci funkce iontu dopadajicich na substart v mikrovlnnem plazmatu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010375" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010375 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Popis výsledku v původním jazyce

Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Název v anglickém jazyce

Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Popis výsledku anglicky

Energy distribution functions of ions impinging on substrate in microwave plasma

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of physics D: Applied physics

ISSN

0022-3727

e-ISSN

—

Svazek periodika

37

Číslo periodika v rámci svazku

3

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

7

Strana od-do

438-444

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—