Projekt laboratoře čistých prostor pro křemíkovou technologii čipů na Masarykově univerzitě

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010943" target="_blank" >RIV/00216224:14310/04:00010943 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

Popis výsledku v původním jazyce

The paper presents ideas, motivation and plans the the projection of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University.

Název v anglickém jazyce

Project of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University

Popis výsledku anglicky

The paper presents ideas, motivation and plans the the projection of a clean room laboratory for silicon device technology at the Masaryk University.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of International Conference Silicon-2004

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

2

Strana od-do

54-55

Název nakladatele

Karel Vojtěchovský

Místo vydání

Rožnov pod Radhoštěm

Místo konání akce

Rožnov pod Radhoštěm

Datum konání akce

1. 1. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—