Srovnání ionizační účinnosti mikrovlnného a radio-frekvenčního výboje doprovázejícího magnetronový výboje

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00012904" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00012904 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
Popis výsledku v původním jazyce
Comparison of two sources of ionisation in an IPVD reactor, microwave and RF discharge.
Název v anglickém jazyce
Comparison of the ionisation efficiency in a microwave and a radio-frequency assisted magnetron discharge
Popis výsledku anglicky
Comparison of two sources of ionisation in an IPVD reactor, microwave and RF discharge.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/GD202%2F03%2FH162" target="_blank" >GD202/03/H162: Pokročilé směry ve fyzice a chemii plazmatu</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Popis výsledku