Rychlostní koeficient reakce HMDSO+O v dohasínajícím plazmatu

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F05%3A00021314" target="_blank" >RIV/00216224:14310/05:00021314 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Rate constant of HMDSO+O in plasma afterglow
Popis výsledku v původním jazyce
The kinetics of the reaction between atomic oxygen and HMDSO was studied by means of the flowing afterglow technique. The HMDSO vapor was injected into the oxygen afterglow and the loss of O atoms as measured by means of a electron spin resonance spectrometer. From the known reaction time and HMDSO flow the rate constant was then calculated.
Název v anglickém jazyce
Rate constant of HMDSO+O in plasma afterglow
Popis výsledku anglicky
The kinetics of the reaction between atomic oxygen and HMDSO was studied by means of the flowing afterglow technique. The HMDSO vapor was injected into the oxygen afterglow and the loss of O atoms as measured by means of a electron spin resonance spectrometer. From the known reaction time and HMDSO flow the rate constant was then calculated.

Projekt
<a href="/cs/project/OC%20527.20" target="_blank" >OC 527.20: Plazmochemické depozice a plazmochemické opracování povrchu pevných substrátů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2005
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)