Charakterizace polymerních tenkých vrstev deponovaných na hliníkových vrstvách pomocí kombinované optické metody a mikroskopie atomové síly

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F06%3A00016537" target="_blank" >RIV/00216224:14310/06:00016537 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/48399108:_____/06:#0000004

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Characterization of polymer thin films deposited on aluminum films by the combined optical method and atomic force microscopy

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper, the results of the optical characterization of polymer thin films, deposited by the plasma enhanced chemical vapor deposition on the aluminum films performed by the multisample modification of the optical method based on combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry, are presented. Within this characterization, the existence of roughness of the boundaries of the polymer films is taken into account by means of the Rayleigh-Rice theory.The optical constants of these films are described by the dispersion model based on parameterization of the density of electronic states. It is shown that the optical constants of the polymer films depend on their thicknesses, i.e. on the deposition times. Morphology of the upper boundaries of the polymer films is also studied using atomic force microscopy.

Název v anglickém jazyce

Characterization of polymer thin films deposited on aluminum films by the combined optical method and atomic force microscopy

Popis výsledku anglicky

In this paper, the results of the optical characterization of polymer thin films, deposited by the plasma enhanced chemical vapor deposition on the aluminum films performed by the multisample modification of the optical method based on combination of variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry, are presented. Within this characterization, the existence of roughness of the boundaries of the polymer films is taken into account by means of the Rayleigh-Rice theory.The optical constants of these films are described by the dispersion model based on parameterization of the density of electronic states. It is shown that the optical constants of the polymer films depend on their thicknesses, i.e. on the deposition times. Morphology of the upper boundaries of the polymer films is also studied using atomic force microscopy.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/FT-TA%2F094" target="_blank" >FT-TA/094: *Vývoj metod pro charakterizaci defektů na površích pevných látek.</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Surface and Interface Analysis

ISSN

0142-2421

e-ISSN

—

Svazek periodika

38

Číslo periodika v rámci svazku

4

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

842-846

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—