Higher harmonic frequencies of discharge voltages as extremely sensitive marker of state of RF reactive sputtering deposition process

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00029205" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00029205 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Higher harmonic frequencies of discharge voltages as extremely sensitive marker of state of RF reactive sputtering deposition process

Popis výsledku v původním jazyce

Higher harmonic frequencies of discharge voltages as extremely sensitive marker of state of RF reactive sputtering deposition process, proceeding

Název v anglickém jazyce

Higher harmonic frequencies of discharge voltages as extremely sensitive marker of state of RF reactive sputtering deposition process

Popis výsledku anglicky

Higher harmonic frequencies of discharge voltages as extremely sensitive marker of state of RF reactive sputtering deposition process, proceeding

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GP202%2F08%2FP038" target="_blank" >GP202/08/P038: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Book of Contributed Papers of 17th Symposium on Applications of Plasma Processes

ISBN

978-80-89186-45-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Název nakladatele

Comenius University in Bratislava

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Liptovský ján

Datum konání akce

17. 1. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—