Hybrid PVD-PECVD sputtering deposition process - from properties of deposited films to process characteristics

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00029370" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00029370 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Hybrid PVD-PECVD sputtering deposition process - from properties of deposited films to process characteristics
Popis výsledku v původním jazyce
Hybrid PVD-PECVD sputtering deposition process - from properties of deposited films to process characteristics, proceeding
Název v anglickém jazyce
Hybrid PVD-PECVD sputtering deposition process - from properties of deposited films to process characteristics
Popis výsledku anglicky
Hybrid PVD-PECVD sputtering deposition process - from properties of deposited films to process characteristics, proceeding

Projekt
<a href="/cs/project/GP202%2F08%2FP038" target="_blank" >GP202/08/P038: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Book of Abstracts, Frontiers in Low Temperature Plasma Diagnostics 8
ISBN
978-80-214-3875-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
1
Strana od-do
—
Název nakladatele
Brno University of Technology
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Blansko
Datum konání akce
19. 4. 2009
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)