Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Modelling of the reactive sputtering process with non-uniform discharge current density and different temperature conditions

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00029371" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00029371 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Modelling of the reactive sputtering process with non-uniform discharge current density and different temperature conditions

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The paper model reactive magnetron sputtering deposition process by modified Bergs model. We test also role of different temperature conditions on hysteresys behaviour and role of non-uniform discharge current density.

  • Název v anglickém jazyce

    Modelling of the reactive sputtering process with non-uniform discharge current density and different temperature conditions

  • Popis výsledku anglicky

    The paper model reactive magnetron sputtering deposition process by modified Bergs model. We test also role of different temperature conditions on hysteresys behaviour and role of non-uniform discharge current density.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/GP202%2F08%2FP038" target="_blank" >GP202/08/P038: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev</a><br>

  • Návaznosti

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2009

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Plasma Sources Science and Technology

  • ISSN

    0963-0252

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    18

  • Číslo periodika v rámci svazku

    2

  • Stát vydavatele periodika

    GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

  • Počet stran výsledku

    8

  • Strana od-do

  • Kód UT WoS článku

    000265580800014

  • EID výsledku v databázi Scopus