Modelling of the reactive sputtering process with non-uniform discharge current density and different temperature conditions

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F09%3A00029371" target="_blank" >RIV/00216224:14310/09:00029371 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Modelling of the reactive sputtering process with non-uniform discharge current density and different temperature conditions
Popis výsledku v původním jazyce
The paper model reactive magnetron sputtering deposition process by modified Bergs model. We test also role of different temperature conditions on hysteresys behaviour and role of non-uniform discharge current density.
Název v anglickém jazyce
Modelling of the reactive sputtering process with non-uniform discharge current density and different temperature conditions
Popis výsledku anglicky
The paper model reactive magnetron sputtering deposition process by modified Bergs model. We test also role of different temperature conditions on hysteresys behaviour and role of non-uniform discharge current density.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Projekt
<a href="/cs/project/GP202%2F08%2FP038" target="_blank" >GP202/08/P038: Studium chování hybridního depozičního procesu a jeho využití pro přípravu tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika
Plasma Sources Science and Technology
ISSN
0963-0252
e-ISSN
—
Svazek periodika
18
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
8
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000265580800014
EID výsledku v databázi Scopus
—

Podobné výsledky(10)