Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F11%3A00056711" target="_blank" >RIV/00216224:14310/11:00056711 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology
Popis výsledku v původním jazyce
We propose a method for computing an approximate (Bonferroni type) confidence interval for the distance of two micro- and/or nanostructures considered in dimensional metrology, e.g. grating lines, using data obtained by a length comparator, which allowsto determine the coordinates of the edges, the position and the width of the structure from its photometric profile together with the related uncertainty contributions. The implementation is demonstrated using data obtained by the Nanometer Comparator operated at the PTB Braunschweig, Germany.
Název v anglickém jazyce
Confidence interval for the distance of two micro/nano structures and its applications in dimensional metrology
Popis výsledku anglicky
We propose a method for computing an approximate (Bonferroni type) confidence interval for the distance of two micro- and/or nanostructures considered in dimensional metrology, e.g. grating lines, using data obtained by a length comparator, which allowsto determine the coordinates of the edges, the position and the width of the structure from its photometric profile together with the related uncertainty contributions. The implementation is demonstrated using data obtained by the Nanometer Comparator operated at the PTB Braunschweig, Germany.

Projekt
<a href="/cs/project/LC06024" target="_blank" >LC06024: Centrum Jaroslava Hájka pro teoretickou a aplikovanou statistiku</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku
Measurement 2011, Proceedings of the 8th International Conference on Measurement
ISBN
978-80-969672-4-7
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
80-83
Název nakladatele
Institute of Measurement Science Slovak Academy of Sciences Dúbravská cesta 9, 841 04 Bratislava
Místo vydání
Bratislava
Místo konání akce
Smolenice, Slovensko
Datum konání akce
27. 4. 2011
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—

Podobné výsledky(10)