Development of reference materials for the investigation of local mechanical properties at the nanoscale
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F12%3A00057088" target="_blank" >RIV/00216224:14310/12:00057088 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/sia.4850/pdf" target="_blank" >http://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/sia.4850/pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/sia.4850" target="_blank" >10.1002/sia.4850</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Development of reference materials for the investigation of local mechanical properties at the nanoscale
Popis výsledku v původním jazyce
In this contribution, we present the results of our effort on preparing and testing thin film?based reference materials prepared using plasma technologies. We describe a deposition procedure that allows us to produce samples with a large range of hardness and modulus values. From these, we choose a very soft but stable sample that is then further tested to verify its suitability as a reference sample. The major issues discussed in this article are the repeatability of the deposition process, time stability, and homogeneity.
Název v anglickém jazyce
Development of reference materials for the investigation of local mechanical properties at the nanoscale
Popis výsledku anglicky
In this contribution, we present the results of our effort on preparing and testing thin film?based reference materials prepared using plasma technologies. We describe a deposition procedure that allows us to produce samples with a large range of hardness and modulus values. From these, we choose a very soft but stable sample that is then further tested to verify its suitability as a reference sample. The major issues discussed in this article are the repeatability of the deposition process, time stability, and homogeneity.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Interface Analysis
ISSN
0142-2421
e-ISSN
—
Svazek periodika
44
Číslo periodika v rámci svazku
8
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
1151-1154
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—