Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F12%3A00057670" target="_blank" >RIV/00216224:14310/12:00057670 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process
Popis výsledku v původním jazyce
Evolution of basic deposition plasma parameters such as discharge voltage and current, total pressure and selected spectral emission line intensities as a function of acetylene supply flow is reported and correlated with the evolution of the state of thetarget.
Název v anglickém jazyce
Experimental study of DC driven hybrid PVD-PECVD process
Popis výsledku anglicky
Evolution of basic deposition plasma parameters such as discharge voltage and current, total pressure and selected spectral emission line intensities as a function of acetylene supply flow is reported and correlated with the evolution of the state of thetarget.
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů