Evolution of Titanium Atom and Ion Density in Reactive HiPIMS - Impact on Hysteresis Curve Shape

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F17%3A00095256" target="_blank" >RIV/00216224:14310/17:00095256 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Evolution of Titanium Atom and Ion Density in Reactive HiPIMS - Impact on Hysteresis Curve Shape
Popis výsledku v původním jazyce
Likewise as the reactive dc or pulsed-dc sputtering, the R-HiPIMS undergoes hysteresis behaviour, however the hysteresis may be minimised or even suppressed by optimizing the R-HiPIMS process parameters. The exact mechanism behind the hysteresis suppression is still unknown and therefore this issue is yet highly disputed in the scientific community. In this paper, we report the evolution of the sputtered Ti atom and ion ground state densities in R-HiPIMS for both nitrogen and oxygen gasses.
Název v anglickém jazyce
Evolution of Titanium Atom and Ion Density in Reactive HiPIMS - Impact on Hysteresis Curve Shape
Popis výsledku anglicky
Likewise as the reactive dc or pulsed-dc sputtering, the R-HiPIMS undergoes hysteresis behaviour, however the hysteresis may be minimised or even suppressed by optimizing the R-HiPIMS process parameters. The exact mechanism behind the hysteresis suppression is still unknown and therefore this issue is yet highly disputed in the scientific community. In this paper, we report the evolution of the sputtered Ti atom and ion ground state densities in R-HiPIMS for both nitrogen and oxygen gasses.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)