Tailoring the soft magnetic properties of sputtered multilayers by microstructure engineering for high frequency applications

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F17%3A00097338" target="_blank" >RIV/00216224:14310/17:00097338 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.4973945" target="_blank" >http://aip.scitation.org/doi/abs/10.1063/1.4973945</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4973945" target="_blank" >10.1063/1.4973945</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Tailoring the soft magnetic properties of sputtered multilayers by microstructure engineering for high frequency applications
Popis výsledku v původním jazyce
Soft magnetic Ni78.5Fe21.5, Co91.5Ta4.5Zr4 and Fe52Co28B20 thin films laminated with SiO2, Al2O3, AlN, and Ta2O5 dielectric interlayers were deposited on 8” Si wafers using DC, pulsed DC and RF cathodes in the industrial, high-throughput Evatec LLS-EVO-II magnetron sputtering system.
Název v anglickém jazyce
Tailoring the soft magnetic properties of sputtered multilayers by microstructure engineering for high frequency applications
Popis výsledku anglicky
Soft magnetic Ni78.5Fe21.5, Co91.5Ta4.5Zr4 and Fe52Co28B20 thin films laminated with SiO2, Al2O3, AlN, and Ta2O5 dielectric interlayers were deposited on 8” Si wafers using DC, pulsed DC and RF cathodes in the industrial, high-throughput Evatec LLS-EVO-II magnetron sputtering system.

Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)