Optical spectroscopy for sputtering process characterization

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F20%3A00114196" target="_blank" >RIV/00216224:14310/20:00114196 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0006586" target="_blank" >https://aip.scitation.org/doi/10.1063/5.0006586</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1063/5.0006586" target="_blank" >10.1063/5.0006586</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical spectroscopy for sputtering process characterization

Popis výsledku v původním jazyce

In this Tutorial, various methods of optical spectroscopy representing certain interest for magnetron discharge characterization are overviewed. The main principles, the implementation examples, and the selected results are given for each technique, accompanied by short discussions and suggestions for further reading. Both passive and active optical methods are covered, including optical absorption and laser-based techniques. The advantages and drawbacks of each diagnostic approach are critically analyzed. Special attention is devoted to the techniques extensively used by the authors in their own work, such as line ratio methods, absorption spectroscopy, interferometry, and laser-induced fluorescence.

Název v anglickém jazyce

Optical spectroscopy for sputtering process characterization

Popis výsledku anglicky

In this Tutorial, various methods of optical spectroscopy representing certain interest for magnetron discharge characterization are overviewed. The main principles, the implementation examples, and the selected results are given for each technique, accompanied by short discussions and suggestions for further reading. Both passive and active optical methods are covered, including optical absorption and laser-based techniques. The advantages and drawbacks of each diagnostic approach are critically analyzed. Special attention is devoted to the techniques extensively used by the authors in their own work, such as line ratio methods, absorption spectroscopy, interferometry, and laser-induced fluorescence.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Applied Physics

ISSN

0021-8979

e-ISSN

1089-7550

Svazek periodika

127

Číslo periodika v rámci svazku

21

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

21

Strana od-do

1-21

Kód UT WoS článku

000539276400001

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85089998689