Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F21%3A00119101" target="_blank" >RIV/00216224:14310/21:00119101 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773" target="_blank" >https://doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.37904/nanocon.2020.3773" target="_blank" >10.37904/nanocon.2020.3773</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge

Popis výsledku v původním jazyce

Thin solid films based on organosilicon monomers are perspective in many branches of industry as well as for bioapplications. In the present study, plasma of RF capacitively coupled glow discharge in gaseous mixture of trimethylsilyl acetate (TMSA) monomer and methane was used to create SiOxCyHz coatings. This study monitors properties of resulting thin films (surface chemistry, wettability, surface structure and mechanical properties) in dependency on deposition parameters. The main subject of the presented research is the investigation of the relationship between the above-mentioned properties of prepared organosilicon coatings and the flow rate ratio of TMSA monomer and CH4 carrier gas applied during deposition process.

Název v anglickém jazyce

Organosilicon plasma polymers deposited in trimethylsilyl acetate/CH4 plasma of capacitively coupled RF glow discharge

Popis výsledku anglicky

Thin solid films based on organosilicon monomers are perspective in many branches of industry as well as for bioapplications. In the present study, plasma of RF capacitively coupled glow discharge in gaseous mixture of trimethylsilyl acetate (TMSA) monomer and methane was used to create SiOxCyHz coatings. This study monitors properties of resulting thin films (surface chemistry, wettability, surface structure and mechanical properties) in dependency on deposition parameters. The main subject of the presented research is the investigation of the relationship between the above-mentioned properties of prepared organosilicon coatings and the flow rate ratio of TMSA monomer and CH4 carrier gas applied during deposition process.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2021

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

NANOCON 2020: 12th International Conference on Nanomaterials - Research & Application

ISBN

9788087294987

ISSN

2694-930X

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

535-540

Název nakladatele

TANGER Ltd.

Místo vydání

Ostrava

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

21. 10. 2020

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000664505500091