Investigation of ionized density fraction in reactive HiPIMS

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F21%3A00119556" target="_blank" >RIV/00216224:14310/21:00119556 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://icmctf2021.avs.org/" target="_blank" >https://icmctf2021.avs.org/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Investigation of ionized density fraction in reactive HiPIMS
Popis výsledku v původním jazyce
The presentation described and explained behaviour of the temporal evolution of sputtered particles densities and their ionized density fraction near the target and the substrate during the HiPIMS process. Four main regimes of the hysteresis in the argon-nitrogen atmosphere including two in the metallic regime, the transition regime and the compound regime were compared.
Název v anglickém jazyce
Investigation of ionized density fraction in reactive HiPIMS
Popis výsledku anglicky
The presentation described and explained behaviour of the temporal evolution of sputtered particles densities and their ionized density fraction near the target and the substrate during the HiPIMS process. Four main regimes of the hysteresis in the argon-nitrogen atmosphere including two in the metallic regime, the transition regime and the compound regime were compared.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)