Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216224%3A14310%2F21%3A00119557" target="_blank" >RIV/00216224:14310/21:00119557 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS
Popis výsledku v původním jazyce
The online presentation described the temporal evolution of sputtered titanium atoms and titanium ions ground state densities in the target and substrate region, for four different nitrogen gas flow, and for two differently powered pulses.
Název v anglickém jazyce
Time-resolved sputtered species number density in Ar/N2 HiPIMS
Popis výsledku anglicky
The online presentation described the temporal evolution of sputtered titanium atoms and titanium ions ground state densities in the target and substrate region, for four different nitrogen gas flow, and for two differently powered pulses.
Klasifikace
Druh
O - Ostatní výsledky
CEP obor
—
OECD FORD obor
10303 - Particles and field physics
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů