Vývoj fotorezistu na bázi amorfního chalkogenidu pro gray scale litografii

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F06%3A00004626" target="_blank" >RIV/00216275:25310/06:00004626 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Development of chalcogenide glass photoresists for gray scale lithography

Popis výsledku v původním jazyce

Wet and dry negative etching procedures are evaluated for the fabrication of 3D graded microstructures in As-S based inorganic photoresists. Absorption of light and consequent photostructural changes near the surface layer enhance the chemical resistanceof the As-S &#64257;lms. The success of the procedure is demonstrated by fabricating arrays of 12 lm diameter microlenses in a thin As35S65 &#64257;lm using a gray scale Cr mask and wet etching. The selectivity of dry etching is successfully realized byusing photodi&#64256;usion in Ag-As2S3 bilayer structure. In this case, however, surface roughness or 'grass' is observed after etching. An unexpected segregation of silver is observed at the edges and at the boundary between the exposed and unexposed regions, which is investigated by SEM and XPS.

Název v anglickém jazyce

Development of chalcogenide glass photoresists for gray scale lithography

Popis výsledku anglicky

Wet and dry negative etching procedures are evaluated for the fabrication of 3D graded microstructures in As-S based inorganic photoresists. Absorption of light and consequent photostructural changes near the surface layer enhance the chemical resistanceof the As-S &#64257;lms. The success of the procedure is demonstrated by fabricating arrays of 12 lm diameter microlenses in a thin As35S65 &#64257;lm using a gray scale Cr mask and wet etching. The selectivity of dry etching is successfully realized byusing photodi&#64256;usion in Ag-As2S3 bilayer structure. In this case, however, surface roughness or 'grass' is observed after etching. An unexpected segregation of silver is observed at the edges and at the boundary between the exposed and unexposed regions, which is investigated by SEM and XPS.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

CA - Anorganická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN

0022-3093

e-ISSN

—

Svazek periodika

—

Číslo periodika v rámci svazku

352

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

589-594

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—