Přímá tvorba povrchových reliéfních mřížek v chalkogenidových sklech excimerovou laserovou interferenční litografií

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F09%3A00008255" target="_blank" >RIV/00216275:25310/09:00008255 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216275:25310/09:00008347

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Direct fabrication of surface relief gratings in chalcogenide glasses by excimer laser interference lithography

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper we study the possibility to realise surface relief gratings in thin chalcogenide glass films by holographic exposure using a pulsed KrF excimer laser. Gratings with a period of 540 nm and depths of 100 ? 300 nm were patterned at the surfaceof 1 lm thick films. Due to coupling of an incident near-infrared laser beam to waveguide modes a resonance-like polarisation dependent decline of transmission was observed at specific incidence angles. Just one laser pulse with a fluence of 12 mJ/cm2 per beam was sufficient to achieve the required grating parameters in sulphide glasses with low Tg.

Název v anglickém jazyce

Direct fabrication of surface relief gratings in chalcogenide glasses by excimer laser interference lithography

Popis výsledku anglicky

In this paper we study the possibility to realise surface relief gratings in thin chalcogenide glass films by holographic exposure using a pulsed KrF excimer laser. Gratings with a period of 540 nm and depths of 100 ? 300 nm were patterned at the surfaceof 1 lm thick films. Due to coupling of an incident near-infrared laser beam to waveguide modes a resonance-like polarisation dependent decline of transmission was observed at specific incidence angles. Just one laser pulse with a fluence of 12 mJ/cm2 per beam was sufficient to achieve the required grating parameters in sulphide glasses with low Tg.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

CA - Anorganická chemie

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Materials Science: Materials in Electronics

ISSN

0957-4522

e-ISSN

—

Svazek periodika

20

Číslo periodika v rámci svazku

1

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—