Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216275%3A25310%2F18%3A39912616" target="_blank" >RIV/00216275:25310/18:39912616 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.matchemphys.2017.10.025" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.matchemphys.2017.10.025</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.matchemphys.2017.10.025" target="_blank" >10.1016/j.matchemphys.2017.10.025</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation
Popis výsledku v původním jazyce
Thin amorphous films of Ge20Sb5S75 composition have been deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation techniques. Their optical properties were investigated by spectroscopic ellipsometry in UV-NIR spectral region. We report on the comparison of thermo- and photo-induced changes in optical parameters, structure and chemical resistance of studied samples. Induced changes of films structure connected with changes of chemical stability were exploited for their surface structuring by photolithography and electron beam lithography.
Název v anglickém jazyce
Optical properties and surface structuring of Ge20Sb5S75 amorphous chalcogenide thin films deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation
Popis výsledku anglicky
Thin amorphous films of Ge20Sb5S75 composition have been deposited by spin-coating and vacuum thermal evaporation techniques. Their optical properties were investigated by spectroscopic ellipsometry in UV-NIR spectral region. We report on the comparison of thermo- and photo-induced changes in optical parameters, structure and chemical resistance of studied samples. Induced changes of films structure connected with changes of chemical stability were exploited for their surface structuring by photolithography and electron beam lithography.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
20506 - Coating and films
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Materials Chemistry and Physics
ISSN
0254-0584
e-ISSN
—
Svazek periodika
203
Číslo periodika v rámci svazku
January
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
9
Strana od-do
310-318
Kód UT WoS článku
000415771700038
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85031897561