Deposition of Thin Films/Multilayers by IBAD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F00%3A00000127" target="_blank" >RIV/00216305:26210/00:00000127 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Deposition of Thin Films/Multilayers by IBAD

Popis výsledku v původním jazyce

In the contribution the application of the ion assisted deposition method (IBAD) for deposition of thin films/multilayers of metals (Co, Ni, Ti, Zr, Mo, etc.) and nitrides and oxides of these metals will be disscused. The attention will be paid to the morphology, composition, structure, optical, electrical, and magnetic properties of these films, in particular as a funtction of the assisting ion beam energy and flux.

Název v anglickém jazyce

Deposition of Thin Films/Multilayers by IBAD

Popis výsledku anglicky

In the contribution the application of the ion assisted deposition method (IBAD) for deposition of thin films/multilayers of metals (Co, Ni, Ti, Zr, Mo, etc.) and nitrides and oxides of these metals will be disscused. The attention will be paid to the morphology, composition, structure, optical, electrical, and magnetic properties of these films, in particular as a funtction of the assisting ion beam energy and flux.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JR - Ostatní strojírenství

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2000

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Metal 2000

ISBN

80-85988-48-8

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Název nakladatele

TANGER, s.r.o, Ostrava

Místo vydání

Ostrava

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—