On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26210%2F15%3APU116657" target="_blank" >RIV/00216305:26210/15:PU116657 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013380" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013380</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1017/S1431927615013380" target="_blank" >10.1017/S1431927615013380</a>

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles
Popis výsledku v původním jazyce
In this paper we describe the results of calculations, based on detailed manufacturer’s knowledge of the instrument optical system. This is compared to experimentally measured resolution and the correlation of these data is discussed.
Název v anglickém jazyce
On the Calculation of SEM and FIB Beam Profiles
Popis výsledku anglicky
In this paper we describe the results of calculations, based on detailed manufacturer’s knowledge of the instrument optical system. This is compared to experimentally measured resolution and the correlation of these data is discussed.

Druh
J<sub>SC</sub> - Článek v periodiku v databázi SCOPUS
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Popis výsledku