Výrobní systém pro katody do elektronového litografu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F04%3APU44810" target="_blank" >RIV/00216305:26220/04:PU44810 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Control board for cathode etching

Popis výsledku v původním jazyce

This paper covers control board for cathode etching. This device is designed in order to analyze and control optimal cathoed etching cycle. Main function of this control board is control position system, measure etching current and control cathode etching cycle.

Název v anglickém jazyce

Control board for cathode etching

Popis výsledku anglicky

This paper covers control board for cathode etching. This device is designed in order to analyze and control optimal cathoed etching cycle. Main function of this control board is control position system, measure etching current and control cathode etching cycle.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2004

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

STUDENT EEICT 2004

ISBN

80-214-2636-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

597-600

Název nakladatele

Vysoké učení technické v Brně

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

29. 4. 2004

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—