Hrotové měřicí zařízení

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F06%3APU61165" target="_blank" >RIV/00216305:26220/06:PU61165 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Tips chip measuring unit
Popis výsledku v původním jazyce
This article describes design and construction of the measuring part of the tip chip measuring unit, which was made out to ensure measurement of the tested chip parameters. It offers possibility to measuring on whole wafer by chip by chip method. The measuring unit consists of the 2D work-bench and eight apexes with autonomous 3D positioning system. The measuring part consists of few blocks - Current measuring, Resistance measuring and Capacity measuring.
Název v anglickém jazyce
Tips chip measuring unit
Popis výsledku anglicky
This article describes design and construction of the measuring part of the tip chip measuring unit, which was made out to ensure measurement of the tested chip parameters. It offers possibility to measuring on whole wafer by chip by chip method. The measuring unit consists of the 2D work-bench and eight apexes with autonomous 3D positioning system. The measuring part consists of few blocks - Current measuring, Resistance measuring and Capacity measuring.

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)