Napařování na keramiku nízkých teplot pro 3D struktury
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F08%3APU75719" target="_blank" >RIV/00216305:26220/08:PU75719 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Vapour deposition on LTCC for 3D structure
Popis výsledku v původním jazyce
Paper deals with an area of thin film layers made for LTCC interconnections. The thin layers were realized using physical vapour deposition (thin film technology). Cooper and silver were used for deposition. Cooper thin film layer properties were affected adversely by sintering but the silver thin film layer was unaffected without any change of parameters. The deposited thin film layers on the LTCC substrate were tested for reliability using current loading. The possibility of deposited layers ultrasonic wire bonding and interconnection were tested and discussed too.
Název v anglickém jazyce
Vapour deposition on LTCC for 3D structure
Popis výsledku anglicky
Paper deals with an area of thin film layers made for LTCC interconnections. The thin layers were realized using physical vapour deposition (thin film technology). Cooper and silver were used for deposition. Cooper thin film layer properties were affected adversely by sintering but the silver thin film layer was unaffected without any change of parameters. The deposited thin film layers on the LTCC substrate were tested for reliability using current loading. The possibility of deposited layers ultrasonic wire bonding and interconnection were tested and discussed too.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F08%2F1546" target="_blank" >GA102/08/1546: Miniaturizované inteligentní systémy a nanostrukturované elektrody pro chemické, biologické a farmaceutické aplikace (NANIMEL)</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Electronics
ISSN
1313-1842
e-ISSN
—
Svazek periodika
2008
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
BG - Bulharská republika
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—