Depozice uhlíkových nanotrubic v mikrovlnném výboji za atmosférického tlaku

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F08%3APU77657" target="_blank" >RIV/00216305:26220/08:PU77657 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Deposition of Carbon Nanotubes in Microwave Torch at Atmospheric Pressure

Popis výsledku v původním jazyce

Carbon nanotubes are new material with unique electrical and mechanical properties. Most of these properties of carbon nanotubes depend on their diameters and chiralities. The depositions were carried out on silicon single crystal (Si) wafer of the orientation <100> doped by phosphorus. Substrates were coated with a thin iron catalytic layer which was vacuum-evaporated to a thickness in the range of 10 nm into the size of 5x5 mm2. Using methane as carbon resource, hydrogen as carrier, carbon nanotubes were synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) at atmospheric pressure. Samples were analyzed by scanning electron microscopy (SEM).

Název v anglickém jazyce

Deposition of Carbon Nanotubes in Microwave Torch at Atmospheric Pressure

Popis výsledku anglicky

Carbon nanotubes are new material with unique electrical and mechanical properties. Most of these properties of carbon nanotubes depend on their diameters and chiralities. The depositions were carried out on silicon single crystal (Si) wafer of the orientation <100> doped by phosphorus. Substrates were coated with a thin iron catalytic layer which was vacuum-evaporated to a thickness in the range of 10 nm into the size of 5x5 mm2. Using methane as carbon resource, hydrogen as carrier, carbon nanotubes were synthesized by microwave plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) at atmospheric pressure. Samples were analyzed by scanning electron microscopy (SEM).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/2A-1TP1%2F143" target="_blank" >2A-1TP1/143: Výzkum nových mechatronických struktur MEMS využitelných pro měření tlaku.</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Electronic Devices and Systems EDS'08 IMAPS CS International Conference 2008

ISBN

978-80-214-3717-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

Ing. Zdeněk Novotný, CSc.

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

10. 9. 2008

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—