SENZORY TLAKU TYPU MEMS A NEMS
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F11%3APU94985" target="_blank" >RIV/00216305:26220/11:PU94985 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
SENZORY TLAKU TYPU MEMS A NEMS
Popis výsledku v původním jazyce
Cílem práce je výzkum možností využití moderních nanotechnologií v nových senzorech tlaku. Především se jedná o kapacitní senzor tlaku typu MEMS. A emisní senzor tlaku NEMS, u něhož se k emisi elektronů používá polí uhlíkových nanotrubic. Jsou prováděnydůkladné rozbory analýzy vlastností těchto řešení s podrobným popisem uplatňovaných fyzikálních principů. Tyto analýzy jsou podpořeny výpočetními modely a měřením jsou ověřeny výsledné parametry.
Název v anglickém jazyce
MEMS A NEMS PRESSURE SENSORS
Popis výsledku anglicky
The goal is to research into the use of advanced nanotechnology in new pressure sensors. Above all it is a capacitive type MEMS pressure sensor. A emission pressure sensor NEMS in which the emission of electrons using arrays of carbon nanotube. They conducted a thorough analysis analyzes the properties of these solutions with a detailed description of the applied physical principles. These analysis are supported by computational models and measuring the resulting parameters are verified. (Přeloženo strojově/Translated by machine)
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Odborný seminář organizovaný International Microelectronics and Packaging Society. Sborník příspěvků
ISBN
978-80-214-4404-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
21-24
Název nakladatele
NOVPRESS s.r.o.
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Horní Bečva
Datum konání akce
19. 5. 2011
Typ akce podle státní příslušnosti
CST - Celostátní akce
Kód UT WoS článku
—